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行業(yè)動(dòng)態(tài)

新材料半導體生產(chǎn)的廢氣怎么處理好呢?

2022-07-29(1466)次瀏覽

  


      隨著(zhù)科技的發(fā)展,目前市場(chǎng)上新材料行業(yè)與傳統材料相比,其應用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開(kāi)發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場(chǎng)的國際性強,而且新材料半導體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導體行業(yè)在加工的過(guò)程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機物成分,在整個(gè)工藝加工的過(guò)程中將會(huì )有部分的有機溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面講解一下關(guān)于:新材料半導體行業(yè)的廢氣應該怎么處理。

新材料半導體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外,還混有HCl、氨、HF等危險污染物,萬(wàn)川環(huán)保采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來(lái)處理半導體行業(yè)的廢氣工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣有毒氣體四種,自身具有的溶解特性,半導體工業(yè)的氣體雖然排放量大,但是氣體的濃度低。


      RTO設備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術(shù)升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高達700度或者以上,雖然溫度需高達700度左右,但是其實(shí)消耗的能源并不多,設備運行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的降低能量消耗的同時(shí)提高了廢氣分子的燃燒反應速率


萬(wàn)川環(huán)保半導體材料廢氣處理設備的凈化效率可維持穩定在99%以上。



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